ASML 去年宣布在中國臺灣擴大投資，計劃在林口建廠，第一期投資金額達 300 億新臺幣，約 2000 名員工入駐。不僅如此，ASML 去年還向臺“經(jīng)濟部”提交申請，提出了針對 2 納米晶圓光學測量設(shè)備的研發(fā)補助方案，經(jīng)濟部已經(jīng)受理審查，根據(jù)規(guī)定，一旦通過審查，政府補助比例不會超過 50%。

　　臺“經(jīng)濟部”的“A + 企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)淬煉計劃”旨在補助企業(yè)進行創(chuàng)新研發(fā)和前瞻產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)，每年預算約 20 億新臺幣(備注：當前約 4.5 億元人民幣)，該計劃吸引了國際大廠來臺研發(fā)生產(chǎn)，并幫助該地區(qū)企業(yè)打入前端設(shè)備的供應鏈。